Структура и электрические свойства многослойной системы In2O3-C

Жилова, О. В.; Панков, С. Ю.; Zhilova, O. V.; Pankov, S. Yu.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/110036

Title:	Структура и электрические свойства многослойной системы In2O3-C
Other Titles:	THE STRUCTURE AND THE ELECTRICAL PROPERTIES OF MULTILAYER SYSTEM In2O3-C
Authors:	Жилова, О. В. Панков, С. Ю. Zhilova, O. V. Pankov, S. Yu.
Issue Date:	2018
Publisher:	Уральский федеральный университет
Citation:	Жилова О. В. Структура и электрические свойства многослойной системы In2O3-C / О. В. Жилова, С. Ю. Панков // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов V Международной молодежной научной конференции, посвященной памяти Почетного профессора УрФУ В. С. Кортова (Екатеринбург, 14–18 мая 2018 г.) : Секция 1. Физика конденсированного состояния. — Екатеринбург : [УрФУ], 2018. — C. 69-70.
Abstract:	The films were taken by the ion-beans method sputtering. It is shown that the film In2O3-C has an X-ray amorphous structure with embedded In2O3 nanocrystallites. The films have a high gas sensitivity to hydrogen.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/110036
Conference name:	V Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2018)», посвященная памяти Почетного профессора УрФУ В. С. Кортова
Conference date:	14.05.2018-18.05.2018
metadata.dc.description.sponsorship:	Работа выполнена при поддержке Министерства образования и науки в рамках проектной части государственного задания (3.1867.2017/4.6).
Origin:	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2018)
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
fti_2018_1_038.pdf		460,9 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar