Preparation of silicon substrates for technological processes

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/109804

Title:	Preparation of silicon substrates for technological processes
Authors:	Abdulhalikova, K. K.
Issue Date:	2018
Publisher:	Уральский федеральный университет
Citation:	Abdulhalikova K. K. Preparation of silicon substrates for technological processes / K. K. Abdulhalikova // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов V Международной молодежной научной конференции, посвященной памяти Почетного профессора УрФУ В. С. Кортова (Екатеринбург, 14–18 мая 2018 г.) : Секция 3. Химические технологии. — Екатеринбург : [УрФУ], 2018. — C. 46-47.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/109804
Conference name:	V Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2018)», посвященная памяти Почетного профессора УрФУ В. С. Кортова
Conference date:	14.05.2018-18.05.2018
Origin:	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2018)
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
fti_2018_3_024.pdf		160,07 kB	Adobe PDF	View/Open