Исследование рельефа и химического состава ITO, полученных методом магнетронного распыления

Чистоедова, А. А.; Жидик, Ю. С.; Chistoedova, A. A; Zhidik, U. S.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/107964

Title:	Исследование рельефа и химического состава ITO, полученных методом магнетронного распыления
Other Titles:	STUDY OF RELIEF AND CHEMICAL COMPOSITION OF ITO SYNTHESIZED BY MAGNETRON SPUTTERING
Authors:	Чистоедова, А. А. Жидик, Ю. С. Chistoedova, A. A Zhidik, U. S.
Issue Date:	2017
Publisher:	УрФУ
Citation:	Чистоедова А. А. Исследование рельефа и химического состава ITO, полученных методом магнетронного распыления / А. А. Чистоедова, Ю. С. Жидик // Физика. Технологии. Инновации (Секция 1) : тезисы докладов IV Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 15–19 мая 2017 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2017. — C. 83-84.
Abstract:	Relief and elements structure of ITO had been researched by means of atomic and power microscopy and X-ray spectral analysis on various semiconductor substrates. Influence of these parameters on electrophysical properties of the received structures is established.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/107964
Conference name:	IV Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации»
Conference date:	15.05.2017-19.05.2017
Origin:	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2017). — Екатеринбург, 2017
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
fti_2017_048.pdf		288,02 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record