ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/107964| Название: | Исследование рельефа и химического состава ITO, полученных методом магнетронного распыления |
| Другие названия: | STUDY OF RELIEF AND CHEMICAL COMPOSITION OF ITO SYNTHESIZED BY MAGNETRON SPUTTERING |
| Авторы: | Чистоедова, А. А. Жидик, Ю. С. Chistoedova, A. A Zhidik, U. S. |
| Дата публикации: | 2017 |
| Издатель: | УрФУ |
| Библиографическое описание: | Чистоедова А. А. Исследование рельефа и химического состава ITO, полученных методом магнетронного распыления / А. А. Чистоедова, Ю. С. Жидик // Физика. Технологии. Инновации (Секция 1) : тезисы докладов IV Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 15–19 мая 2017 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2017. — C. 83-84. |
| Аннотация: | Relief and elements structure of ITO had been researched by means of atomic and power microscopy and X-ray spectral analysis on various semiconductor substrates. Influence of these parameters on electrophysical properties of the received structures is established. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/107964 |
| Конференция/семинар: | IV Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации» |
| Дата конференции/семинара: | 15.05.2017-19.05.2017 |
| Источники: | Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2017). — Екатеринбург, 2017 |
| Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| fti_2017_048.pdf | 288,02 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.