Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/107733
Название: | Электрофизические свойства пористых пленок пентаоксида тантала |
Другие названия: | ELECTROPHYSICAL PROPERTIES OF POROUS TANTAL PENTAXIDE FILMS |
Авторы: | Чумаков, И. В. Chumakov, I. V. |
Дата публикации: | 2017 |
Издатель: | УрФУ |
Библиографическое описание: | Чумаков И. В. Электрофизические свойства пористых пленок пентаоксида тантала / И. В. Чумаков // Физика. Технологии. Инновации (Секция 2. Химические технологии и материаловедение) : тезисы докладов IV Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 15–19 мая 2017 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2017. — C. 189-190. |
Аннотация: | In the present work, studies of the effect of carbon on structure and electrical characteristics on the example of other oxide dielectrics used in integrated circuit technology are continued. The experiment was performed on metal-insulator-metal (MDM) structures. As a dielectric, films of tantalum pentoxide obtained by magnetron sputtering of the Ta: C composite target in an oxygen atmosphere were used. |
URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/107733 |
Конференция/семинар: | IV Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации» |
Дата конференции/семинара: | 15.05.2017-19.05.2017 |
Источники: | Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2017). — Екатеринбург, 2017 |
Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
fti_2017_271.pdf | 287,58 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.