Контроль качества микро- и нанопорошков гексагонального нитрида бора методами рамановской, катодолюминесцентной и рентгеновской спектроскопии : магистерская диссертация

Abstract

Основными технологическими и трудно определяемыми примесями в h-BN выступают углерод и кислород. На производстве возникает необходимость в контроле качества с высоким пространственным разрешением как отдельных нанослоев h-BN, так и готовых гетероструктур на его основе. Целью работы является разработка способа неразрушающего контроля дефектности и примесного состава тонких слоев h-BN методами комбинационного рассеяния света и катодолюминесцентной спектрометрии. Выполнен литературный обзор особенностей материала гексагонального нитрида бора и его люминесцентных свойств. Проведены измерения исследуемых образцов при помощи рамановского спектрометра, сканирующего электронного микроскопа с катодолюминесцентной приставкой и электронно-зондового микроанализатора. Выполнен анализ полученных результатов.

The main technological and difficult-to-determine impurities in h-BN are carbon and oxygen. In production, there is a need for quality control with high spatial resolution of both individual h-BN nanolayers and heterostructures based on it. The aim of the work is to develop a method for non-destructive testing of the defects and impurity composition of h-BN thin layers by Raman scattering and cathodoluminescence spectrometry. A literature review of the features of the material of hexagonal boron nitride and its luminescent properties is performed. The samples were measured using a Raman spectrometer, a scanning electron microscope with a cathodoluminescent attachment, and an electron probe microanalyzer. The analysis of the obtained results is performed. Areas of application: diagnostics and quality control.