ТЕРМИЧЕСКАЯ УСТОЙЧИВОСТЬ МНОГОСЛОЙНОЙ СТРУКТУРЫ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ [In2O3/C]25

Bassarab, V. V.; Pankov, S. Y.; Kashirin, M. A.; Бассараб, В. В.; Панков, С. Ю.; Каширин, М. А.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/106940

Title:	ТЕРМИЧЕСКАЯ УСТОЙЧИВОСТЬ МНОГОСЛОЙНОЙ СТРУКТУРЫ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ [In2O3/C]25
Other Titles:	THERMAL STABILITY OF THE MULTILAYER STRUCTURE IN THIN FILMS [In2O3/C]25
Authors:	Bassarab, V. V. Pankov, S. Y. Kashirin, M. A. Бассараб, В. В. Панков, С. Ю. Каширин, М. А.
Issue Date:	2020
Publisher:	УрФУ
Citation:	Бассараб В. В. ТЕРМИЧЕСКАЯ УСТОЙЧИВОСТЬ МНОГОСЛОЙНОЙ СТРУКТУРЫ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ [In2O3/C]25 / В. В. Бассараб, С. Ю. Панков, М. А. Каширин // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VII Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию Уральского федерального университета (Екатеринбург, 18–22 мая 2020 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2020. — C. 708-709.
Abstract:	Thin-film coatings [In2O3/C]25 were by ion-beam sputtering. X-ray diffraction patterns were taken and analyzed after exposure to temperature annealing, the results of which made conclusions about the change in the structure of the layers after heating to 200-550°C.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/106940
Conference name:	VII Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 100-летию Уральского федерального университета
Conference date:	18.05.2020-22.05.2020
Origin:	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2020)
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
fti_2020_390.pdf		232,2 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record