Сканирующая зондовая микроскопия и спектроскопия, состояние, тенденции развития и уровень разработок в России

Abstract

Изложены основные этапы развития сканирующей зондовой микроскопии и спектроскопии нанометрового пространственного разрешения. Приводятся новые конструкции приборов, новые разработки микромеханических систем для СЗМ и тенденции их развития. Оценено состояние разработок в России в сравнении с лучшими мировыми достижениями.

The main stages of the development of scanning probe microscopy and nanoscale spatial resolution spectroscopy are described. New design of devices, new developments of micromechanical systems for SPM and trends of their development are presented. The state of developments in Russia is evaluated in comparison with the best world achievements.