Совмещение зондовых и оптических методов для исследования свойств поверхности с нанометровым пространственным разрешением

Abstract

Описаны современные приборы и методы, интегрирующие возможности сканирующей зондовой микроскопии с методами комбинационного рассеяния и инфракрасной (ИК) микро- и спектроскопии. Представлены экспериментальные результаты, показывающие возможности получения пространственного разрешения на уровне 10 нм в режимах ближнепольной оптической микроскопии в видимом и ИК диапазонах.

Modern devices and methods that integrate the capabilities of scanning probe microscopy with Raman and infrared (IR) micro- and spectroscopy methods and described. Experimental results showing the possibility of obtaining spatial resolution at the level of 10 nm in the near-field optical microscopy in the visible and infrared ranges are presented.