Формирование низко-размерных проводящих каналов с помощью технологии перьевой нанолитографии

Abstract

Сканирующая зондовая микроскопия (СЗМ) занимает важное место в современной нанотехнологии. СЗМ может быть использована не только для анализа и характеристики поверхности, но и для еѐ модификации посредством зондовой литографии. Одним из методов зондовой литографии является «перьевая нанолитография». Перьевая нанолитография является мощным инструментом на основе атомно-силового микроскопа. Она обеспечивает идеальный «конструктивный» литографический инструмент с прямой записью, который позволяет наносить материалы с помощью зонда СЗМ на поверхность с высокой точностью. Стабильная технология, позволяющая воспроизводить объекты с высокой точностью может найти применение в ряде областей, от полупроводниковой промышленности до медицины и биотехнологии. В работе рассматривается изготовление низко-размерных проводящих каналов с помощью технологии нанолитографии и жидкостного химического травления.

Scanning probe microscopy (SPM) occupies an important place in modern nanotechnology. SPM can be used not only for analysis and surface characteristics, but also for its modification through probe lithography. One of the methods of probe lithography is "Dip-Pen nanolithography." Dip-Pen nanolithography is a powerful tool based on an atomic force microscope. It provides an ideal "constructive" lithographic tool with direct recording, which allows you to apply materials with the help of the SPM probe to the surface with high accuracy. A stable technology that allows reproducing objects with high accuracy can find application in a number of areas, from the semiconductor industry to medicine and biotechnology. The paper deals with the fabrication of low-dimensional conducting channels by means of nanolithography and liquid chemical etching.