Влияние потенциала смещения на подложке на структуру тонких пленок ниобата бария-стронция, полученных ВЧ-катодным распылением

Матяш, Я. Ю.; Павленко, А. В.; Стрюков, Д. В.; Зинченко, С. П.; Назаренко, А. В.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/101165

Title:	Влияние потенциала смещения на подложке на структуру тонких пленок ниобата бария-стронция, полученных ВЧ-катодным распылением
Authors:	Матяш, Я. Ю. Павленко, А. В. Стрюков, Д. В. Зинченко, С. П. Назаренко, А. В.
Issue Date:	2021
Publisher:	Уральский федеральный университет
Citation:	Влияние потенциала смещения на подложке на структуру тонких пленок ниобата бария-стронция, полученных ВЧ-катодным распылением / Я. Ю. Матяш, А. В. Павленко, Д. В. Стрюков, С. П. Зинченко, А. В. Назаренко // XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII) : сборник тезисов (Екатеринбург, 25-28 августа 2021 г.). — Екатеринбург: Уральский федеральный университет, 2021. — С. 246-247.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/101165
Conference name:	XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII)
Conference date:	25.08.2021-28.08.2021
ISBN:	978-5-9500624-4-5
Sponsorship:	Работа выполнена в рамках государственного задания ЮНЦ РАН (тема № госрегистрации 01201354247), а также при поддержке гранта Президента РФ № МК-678.2020.2.
Origin:	XXII Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XXII). — Екатеринбург, 2021
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-9500624-4-5_176.pdf		480,32 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record