Просмотр коллекции по группе - По тематике LOW PRESSURE ARC
Отображение результатов 1 до 2 из 2
Дата публикации | Название | Авторы |
2021 | Obtaining of TiSiCN Coatings by Anodic Evaporation of Titanium and Decomposition of Hexamethyldisilazane in a Low-Pressure Arc Discharge | Menshakov, A. I.; Bruhanova, Y. A.; Skorynina, P. A. |
2022 | Synthesis of Lithium Phosphorus Oxynitride (LiPON) Thin Films by Li3 PO4 Anodic Evaporation in Nitrogen Plasma of a Low-Pressure Arc Discharge | Gavrilov, N.; Kamenetskikh, A.; Tretnikov, P.; Nikonov, A.; Sinelnikov, L.; Butakov, D.; Nikolkin, V.; Chukin, A. |