Please use this identifier to cite or link to this item:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/58546
Title: | Реакционная камера установки для получения дисперсного нитрида алюминия |
Patent Number: | 2631076 |
Authors: | Бекетов, А. Р. Баранов, М. В. Шишкин, Р. А. Елагин, А. А. Кудякова, В. С. Афонин, Ю. Д. |
Issue Date: | 2017-09-18 |
Abstract: | Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия. |
Keywords: | PATENT ПАТЕНТ |
URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/58546 |
RSCI ID: | 38287116 |
PURE ID: | 6560133 |
Patent Type: | Изобретение |
Patent Owner: | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" |
Appears in Collections: | Патенты и изобретения |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
2631076.pdf | 298,8 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.