ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/99267| Название: | Characterization of TiAlSiON coatings deposited by plasma enhanced magnetron sputtering: XRD, XPS, and DFT studies |
| Авторы: | Anokhin, E. S. Zhidkov, I. S. Kukharenko, A. I. Chukin, A. V. Cholakh, S. O. Kurmaev, E. Z. Skorikov, N. A. Kamenetskih, A. S. Gavrilov, N. V. |
| Дата публикации: | 2016 |
| Издатель: | УрФУ |
| Библиографическое описание: | Characterization of TiAlSiON coatings deposited by plasma enhanced magnetron sputtering: XRD, XPS, and DFT studies / E. S. Anokhin, I. S.Zhidkov, A. I. Kukharenko, A. V. Chukin, S. O. Cholakh, E. Z. Kurmaev, N. A. Skorikov, A. S. Kamenetskih, N. V. Gavrilov // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов III Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 16–20 мая 2016 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2016. — C. 348-349. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/99267 |
| Конференция/семинар: | III Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации» |
| Дата конференции/семинара: | 16.05.2016-20.05.2016 |
| Источники: | Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2016). — Екатеринбург, 2016 |
| Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| fti_2016_219.pdf | 279,45 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.