Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10995/98429
Title: Синтез нанопорошков нитрида титана осаждением из газовой фазы
Other Titles: CVD SYNTHESIS OF THE TIN NANOPOWDERS
Authors: Кудякова, В. С.
Шишкин, Р. А.
Юферов, Ю. В.
Зыков, Ф. М.
Чукин, А. В.
Issue Date: 2019
Publisher: ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ»
Citation: Синтез нанопорошков нитрида титана осаждением из газовой фазы / В. С. Кудякова, Р. А. Шишкин, Ю. В. Юферов, Ф. М. Зыков, А. В. Чукин // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VI Международной молодежной научной конференции, посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ (Екатеринбург, 20–24 мая 2019 г.). — Екатеринбург : ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ», 2019. — C. 476-478.
Abstract: CVD synthesis of the TiN nanopowders is presented. The Na2TiF6 salt was used as Ti source. Obtained TiN particles have spherical shape and sizes that not exceeds 100 nm.
URI: http://hdl.handle.net/10995/98429
Conference name: VI Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ
Conference date: 20.05.2019-24.05.2019
ISBN: 978-5-8295-0640-7
metadata.dc.description.sponsorship: Исследование выполнено при финансовой поддержке РФФИ в рамках научного проекта № 18-33-01136.
Origin: Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2019). — Екатеринбург, 2019
Appears in Collections:Конференции, семинары

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
978-5-8295-0640-7_2019_274.pdf335,97 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.