Синтез нанопорошков нитрида титана осаждением из газовой фазы

Кудякова, В. С.; Шишкин, Р. А.; Юферов, Ю. В.; Зыков, Ф. М.; Чукин, А. В.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/98429

Title:	Синтез нанопорошков нитрида титана осаждением из газовой фазы
Other Titles:	CVD SYNTHESIS OF THE TIN NANOPOWDERS
Authors:	Кудякова, В. С. Шишкин, Р. А. Юферов, Ю. В. Зыков, Ф. М. Чукин, А. В.
Issue Date:	2019
Publisher:	ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ»
Citation:	Синтез нанопорошков нитрида титана осаждением из газовой фазы / В. С. Кудякова, Р. А. Шишкин, Ю. В. Юферов, Ф. М. Зыков, А. В. Чукин // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VI Международной молодежной научной конференции, посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ (Екатеринбург, 20–24 мая 2019 г.). — Екатеринбург : ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ», 2019. — C. 476-478.
Abstract:	CVD synthesis of the TiN nanopowders is presented. The Na2TiF6 salt was used as Ti source. Obtained TiN particles have spherical shape and sizes that not exceeds 100 nm.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/98429
Conference name:	VI Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ
Conference date:	20.05.2019-24.05.2019
ISBN:	978-5-8295-0640-7
metadata.dc.description.sponsorship:	Исследование выполнено при финансовой поддержке РФФИ в рамках научного проекта № 18-33-01136.
Origin:	Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2019). — Екатеринбург, 2019
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-8295-0640-7_2019_274.pdf		335,97 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar