Способ получения пленок на основе сложных оксидов

Abstract

FIELD: catalytic, electrode, superconducting and SHF materials manufacture. SUBSTANCE: working solution containing 0.1-10.0 per cent by mass of metal components of complex oxide, 5.0-20.0 per cent by mass of polyvinyl alcohol, water being the balance is prepared. Working solution is injected with 1.0-50.0, per cent by mass of water-soluble crystallizing polymer, for example, polyethyleneoxide or polyethyleneglicol. Solution is applied layer by layer on article with intermediate drying and heating of at least two layers at 400-680 C till organic components are removed. These operations are carried out with coaxial displacement of article. Then final firing at 600-1000 C is performed. Additional injection of polymer ensures emergence of viscous medium easily spreading over surface with rotation where decomposition of salt components takes place. This provides for manufacture of uniform coats on internal surfaces of articles. EFFECT: facilitated manufacture of films.

Использование: в технологии тонкопленочных материалов при получении каталитических, электродных, сверхпроводящих и СВЧ материалов. Сущность изобретения: готовят рабочий раствор, содержащий 0,1 10 мас. металлических компонентов сложного оксида, 5 20 мас. поливинилового спирта, остальное вода. В раствор дополнительно вводят 1 50 мас. водорастворимого кристаллизующегося полимера, например полиэтиленоксида или полиэтиленгликоля. Раствор послойно наносят на изделие с промежуточной сушкой и нагревом не менее двух слоев до удаления органической компоненты при 400 680°С. Эти операции осуществляют с коаксиальным вращением изделия. Затем проводят окончательный отжиг при 600 1000°С. Дополнительное введение полимера обеспечивает в процессе нагрева появления вязкотекучей среды, хорошо растекающейся по поверхности при вращении, где происходит разложение солевых компонентов. Это обеспечивает получение равномерных покрытий на внутренних поверхностях изделий.