Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10995/73905
Title: Технология тонких пленок и покрытий : учебное пособие
Authors: Маскаева, Л. Н.
Федорова, Е. А.
Марков, В. Ф.
Editors: Маскаева, Л. Н.
Issue Date: 2019
Publisher: Издательство Уральского университета
Citation: Маскаева Л. Н. Технология тонких пленок и покрытий : учебное пособие : Рекомендовано методическим советом Уральского федерального университета в качестве учебного пособия для студентов вуза, обучающихся по направлению подготовки 18.03.01 «Химическая технология»/ Л. Н. Маскаева, Е. А. Федорова, В. Ф. Марков ; под общей редакцией Л. Н. Маскаевой ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина. — Екатеринбург : Издательство Уральского университета, 2019. — 236 с. — ISBN 978-5-7996-2560-3.
Abstract: В учебном пособии рассмотрены физико-химические принципы организации нанесения тонких пленок и покрытий, способы нанесения пленок с использованием как физических, так и химических технологий, методы определения толщин, фазового состава и функциональных свойств пленок халькогенидов металлов и области их применения в электронной технике и альтернативной энергетике. Адресовано бакалаврам и магистрам, обучающимся по направлению 18.03.01 «Химическая технология»; может быть полезно студентам, специализирующимся в области химической технологии материалов и изделий электронной техники, а также инженерам и научным работникам, деятельность которых связана с получением и исследованием тонкопленочных, функциональных материалов для микро- и оптоэлектроники.
Keywords: УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
ХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ПОДЛОЖЕЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ФОРМИРОВАНИЕ ПЛЕНОК
ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛЕНОК ХАЛЬКОГЕНИДОВ МЕТАЛЛОВ
URI: http://hdl.handle.net/10995/73905
RSCI ID: 38253476
PURE ID: 9969027
ISBN: 978-5-7996-2560-3
Appears in Collections:Публикации сотрудников

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
978-5-7996-2560-3_2019.pdf7,09 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.