Способ исследования люминесцентных свойств материала с пространственным микро- или наномасштабным разрешением

Abstract

FIELD: physics. SUBSTANCE: method involves exposing the investigated area of the material to a scanning electron beam, stimulating luminescence of the investigated area of the material and picking up the stimulated luminescence. Luminescence of the investigated area is stimulated by laser radiation, where the investigated area of the material is exposed to laser radiation after exposing that area of the material to the electron beam with delay time defined by the relationship ?del?10??dec, where ?del is the delay time between exposing the investigated area to the electron beam and laser radiation, ?dec is the cathode luminescence decay time of the investigated area of the material ranging from 1 ns to 10⁹ ns. EFFECT: high accuracy of matching luminescence results with a specific area of a sample, ensuring rapid investigation, broader capacity for investigating luminescence in materials. 4 dwg, 1 tbl.

Изобретение относится к измерительной технике. Способ включает облучение исследуемой области материала сканирующим электронным пучком, стимулирование люминесценции исследуемой области материала и регистрацию стимулированной люминесценции. Стимуляцию люминесценции исследуемой области осуществляют лазерным излучением, причем воздействие лазерного излучения на исследуемую область материала производят позже облучения этой области материала электронным пучком на время задержки, определяемое соотношением ?зад?10??зат, где ?зад - это время задержки между воздействием на исследуемую область электронного пучка и лазерного излучения, ?зат - это время затухания катодолюминесценции исследуемой области материала, находящееся в пределах от 1 нс до 10⁹ нс. Технический результат - повышение точности отождествления результатов люминесценции с конкретной областью образца, обеспечение экспрессности исследования, расширение возможности исследования люминесценции в материалах. 4 ил., 1 табл.