Способ получения нанокристаллических покрытий на основе нанокристаллов фторида лития или фторида натрия

Abstract

FIELD: nanotechnologies. SUBSTANCE: invention aims at producing nanocrystalline coats based on lithium or sodium fluoride on various substrates. The aforesaid coats are produced by a power spraying beam representing ionic cyclotron beams of He⁺ or N³⁺ ions used to irradiate, in cyclotron target chamber in vacuum, the mother crystals of lithium or sodium fluoride arranged at the angle of 10 to 15° relative to the ion beam. The irradiation is proceeded at constant heating by means of contact platinum electrode till obtaining fluences of 5·10¹⁵t to 10⁷ ion/cm². EFFECT: production of nanocrystalline solid or insular coats based on lithium or sodium fluoride on various substrates. 4 cl, 6 dwg.

Изобретение предназначено для получения нанокристаллических покрытий на основе нанокристаллов фторида лития или фторида натрия на различных подложках. Сущность изобретения: нанокристаллические покрытия на основе нанокристаллов фторида лития или фторида натрия получают с использованием энергетического распыляющего пучка, в качестве которого применяют ионные циклотронные пучки ионов гелия He⁺ или ионов азота N³⁺, которыми облучают в мишенной камере циклотрона в вакууме исходные кристаллы фторида лития или фторида натрия, которые располагают под углом 10-15° относительно пучка ионов и облучают до флюенсов 5·10¹⁵-10⁷ ион/см² при постоянном нагреве в течение всего процесса облучения с помощью контактного платинового электрода. Техническим результатом изобретения является получение нанокристаллических покрытий на основе нанокристаллов фторида лития или фторида натрия на различных подложках с высокой адгезией к подложкам и возможность создания нанокристаллических покрытий сплошного или островкового типа. 3 з.п. ф-лы, 6 ил.