Способ получения нитевидного нитрида алюминия

Abstract

FIELD: chemical technology. SUBSTANCE: method for synthesis of threadlike aluminum nitride involves passing gaseous reagents as aluminum (III) halides and nitrogen through heated aluminum and the following condensation of the end product. Aluminum (III) halide is fed at the level rate 0.1-6 cm³/min per 1 cm² of the condensation surface. Condensation is carried out on backing made of pure graphite. Invention provides synthesis of aluminum nitride as crystal fibers showing the ratio value of length to diameter above 200-300. Invention can be used for synthesis of threadlike aluminum nitride crystals useful in making sensor probes in cantilevers of atomic-power microscopes. EFFECT: improved method of synthesis. 3 dwg, 2 ex.

Изобретение может быть использовано для получения нитевидных кристаллов нитрида алюминия, пригодных для изготовления сенсорных зондов на кантилеверах атомно-силовых микроскопов. Способ получения нитевидного нитрида алюминия включает пропускание через нагретый алюминий газообразных реагентов в виде галогенидов алюминия (III) и азота и последующую конденсацию конечного продукта. Подачу галогенида алюминия (III) осуществляют со скоростью на уровне 0,1-6 см³/мин на каждый 1 см² поверхности конденсации. Конденсацию ведут на подложке из чистого графита. Изобретение позволяет получить нитрид алюминия в виде кристалловолокон с отношением длины к диаметру более 200-300. 3 ил.