Способ очистки изделий из бериллиевой керамики от примеси углерода

Abstract

FIELD: ceramics, chemistry.SUBSTANCE: method for cleaning products made of BeO ceramics from carbon admixture includes bombing surface with positively charged ions of inert gas, at sparing modes: U = 0,5?2,0 kV, I = 5,0?40,0 mcA, ? = 10-20 min. After such treatment product is heated in 10-7-10-9 Pa vacuum up to temperature of 450-500°C, exposed during 15-20 min., and then surface is treated with high-frequency hydrogen plasma at following modes: plasma pressure no greater than 10-5 Pa, discharge current not exceeding I = 10,0 mcA, hydrogen atoms energy 5,0?10,0 eV.EFFECT: higher reliability, higher durability, higher efficiency.1 dwg.

Изобретение относится к способам очистки керамических изделий от примесей, в частности к способу очистки поверхности и объема изделий из керамики ВеО от примеси углерода, в том числе подложек для микросхем и мощных резисторов, транзисторов, окон для СВЧ-радаров, каналов газоразрядных лазеров, поверхности и объема вакуумно-плотных изоляторов, применяемых в камерах с магнитным обжатием-МАГО, для получения высокотемпературной замагниченной водородной плазмы. Способ очистки изделий из керамики ВеО от примеси углерода заключается в бомбардировке поверхности положительно заряженными ионами инертного газа, отличающийся тем, что облучение ионами проводят при щадящих режимах: U=0,5?2,0 кВ, I=5,0?40,0 мкА, ?=10?20 мин. После этой обработки изделие нагревают в вакууме 10-7-10-9 Па до температуры 450?500°С, выдерживают в течение 15?20 мин и затем обрабатывают поверхность высокочастотной водородной плазмой при следующих режимах: давление плазмы не более 10-5 Па, ток разряда не более I=10,0 мкА, энергия атомов водорода 5,0?10,0 эВ. Техническим результатом является создание надежной технологии очистки поверхности и объема изделий от углерода без значительного разрушения структуры их поверхности; сокращение времени очистки объема изделий от примеси углерода, а также уменьшение время облучения ионами, а следовательно, и загрязнение, разрушение и распыление материала керамики ВеО, сохранение механической прочности электросопротивления и вакуумной плотности керамических изделий. 1 ил.