Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов : учебное пособие

Маскаева, Л. Н.; Марков, В. Ф.; Форостяная, Н. А.; Туленин, С. С.; Федорова, Е. А.; Смирнова, З. И.; Титов, А. Н.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/62833

Title:	Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов : учебное пособие
Authors:	Маскаева, Л. Н. Марков, В. Ф. Форостяная, Н. А. Туленин, С. С. Федорова, Е. А. Смирнова, З. И. Титов, А. Н.
Editors:	Маскаева, Л. Н.
Issue Date:	2018
Publisher:	Издательство Уральского университета
Citation:	Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов : учебное пособие : Рекомендовано методическим советом Уральского федерального университета в качестве учебного пособия для студентов вуза, обучающихся по направлению подготовки 18.03.01, 18.04.01 «Химическая технология» / Л. Н. Маскаева [и др.] ; под общей редакцией Л. Н. Маскаевой ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина. — Екатеринбург : Издательство Уральского университета, 2018. – 136 с. – ISBN 978-5-7996-2411-8.
Abstract:	В учебном пособии изложены теоретический материал и алгоритмы выполнения курсовых работ, предлагаемых студентам по ряду профильных дисциплин, связанных с прогнозированием условий и проведением процесса осаждения полупроводниковых пленок на основе халькогенидов металлов и других сопутствующих фаз. Приведены необходимый для выполнения расчетов обширный справочный материал, рекомендации по содержанию и оформлению отчетов. Исходя из известных рабочих рецептур, подобраны различные варианты индивидуальных заданий по курсовым работам. Предназначено для студентов бакалавриата и магистрантов, обучающихся по программе «Химическая технология материалов электроники, сенсорной аналитики и неорганических веществ», будет полезно аспирантам различных специальностей и преподавателям вузов.
Keywords:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ ХИМИЯ ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/62833
ISBN:	978-5-7996-2411-8
Appears in Collections:	Учебные материалы

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-7996-2411-8_2018.pdf	Учебное пособие	7,36 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar