Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10995/58546
Title: Реакционная камера установки для получения дисперсного нитрида алюминия
Patent Number: 2631076
Authors: Бекетов, А. Р.
Баранов, М. В.
Шишкин, Р. А.
Елагин, А. А.
Кудякова, В. С.
Афонин, Ю. Д.
Issue Date: 2017-09-18
Abstract: Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия.
Keywords: PATENT
ПАТЕНТ
URI: http://hdl.handle.net/10995/58546
RSCI ID: 38287116
PURE ID: 6560133
Patent Type: Изобретение
Patent Owner: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"
Appears in Collections:Патенты и изобретения

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2631076.pdf298,8 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.