Установка для получения порошкообразного нитрида алюминия высокой чистоты

Abstract

Полезная модель относится к устройствам для получения полупроводниковых материалов, а именно порошкового нитрида алюминия для использования в производстве металлокерамических, керамических, композиционных и др. материалов и изделий с характерным размером частиц или зерна около или менее 100 нм. Предлагаемое техническое решение позволяет повысить эффективность процесса получения порошкообразного нитрида алюминия высокой чистоты, путем снижения количества примесей в конечном продукте, увеличения скорости и полноты проведения химической реакции, снижения размеров частиц получаемого продукта до величины около или менее 100 нм. Это достигается тем, что горизонтальная цилиндрическая реакционная камера выполнена из жаропрочной нержавеющей стали и изнутри футерована кольцами из нитрида алюминия для получения конечного продукта незагрязненного примесями, попадающими в конечный продукт в результате нежелательного взаимодействия компонентов шихты с материалом, из которого выполнена реакционная камера. Цилиндрическая реакционная камера выполнена с возможностью вращения вокруг горизонтальной оси для перемешивания исходных компонентов, находящихся во время процесса внутри реакционной камеры, что значительно повышает скорость и полноту проведения химической реакции получения нитрида алюминия. Средство нагрева выполнено в виде графитового нагревателя, создающего необходимый градиент температур вдоль горизонтальной цилиндрической камеры. Это позволяет разделять реакционную камеру на несколько температурных зон, и в зависимости от задания варьировать полноту и скорость прохождения химической реакции, а также регулировать крупность частиц получаемого продукта. Установка оснащена устройством для изменения угла наклона горизонтальной цилиндрической реакционной камеры для регулировки скорости прохождения шихты через реакционную зону, что также влияет на скорость процесса. Установка снабжена системой очистки получаемого продукта от микропримесей, выполненной в виде перчаточного бокса, герметично соединенного с устройством отгонки солей. Таким образом, с помощью приведенной совокупности признаков обеспечивается высокоэффективное получение порошкообразного нитрида алюминия высокой чистоты в наноразмерном состоянии.