Определение общего содержания элементов и анализ слоев с помощью оптической спектроскопии высокочастотного тлеющего разряда

Abstract

Во многих приложениях спектрального анализа требуется определять общий и поверхностный элементный состав образца. Для покрытия на стали или анодированного алюминия, т.е. материалов автомобильной, авиастроительной или электронной промышленности, элементный состав поверхности определяет такие важные характеристики, как внешний вид, коррозионную устойчивость, адгезию, проводимость и т.п., в то время как валовый состав - прочность и долговечность изделия. Уникальная техника оптической эмиссионной спектрометрии высокочастотного тлеющего разряда делает возможным быстрое, недорогое и высокочувствительное определение практически всех элементов (включая газы) в любых твердых материалах, включая металлы, сплавы, полупроводники, полимерные покрытия, стекла и др. Метод официально признан ИСО, а приборы внесены в официальный реестр средств измерения РФ. В данной статье представлены методики анализа различных материалов, а также описаны новейшие усовершенствования метода.

For many applications, it is essential to know the chemical composition of a material both at the surface and in the bulk. Whether the application is coated steels or anodized aluminium, e.g. for car bodies or airplanes, or plated materials, e.g. for electronic components manufacture, the surface composition determines many important parameters such as appearance, corrosion resistance, adhesion, conductivity, etc, while the bulk composition is important for the stability and long life of the product. Only one technique, Radio Frequency Glow Discharge Optical Emission Spectrometry (RF-GD-OES) can provide both the surface and bulk composition, quickly, cheaply, and with high sensitivity to all elements (including the gaseous elements), for almost all solid materials, including metals, metal alloy coatings, semiconductors, polymer coatings, glass, etc. The technique is recognised by ISO and the instrumentation has received the Gosstandard allowing its spread in Russia. Applications of RF-GD-OES for bulk and depth profile analysis of diverse materials are presented in this article and the most recent updates of the technique are described.