Оценка глубины выхода флуоресцентного излучения из проб исследуемых материалов и определение толщин плёнок и покрытий на рентгеновском спектрометре "СПЕКТРОСКАН МАКС-GV"

Abstract

Для портативного рентгеновского спектрометра «СПЕКТРОСКАН МАКС-GV» рассмотрена возможность определения толщины пленок. Для одноэлементных фольг толщиной до 10 мкм рассчитаны таблицы зависимости интенсивности флуоресценции характеристических линий элемента от толщины пленки. Для пленок свыше 10 мкм предложено оценивать толщину пленки по интенсивности аналитической линии элемента подложки и рассчитаны таблицы зависимости интенсивности аналитической линии элемента подложки (молибдена) от толщины покрытия. Рассмотрен случай дополнительного возбуждения элементом покрытия аналитической линии элемента подложки (цинковое покрытие на стали). Результаты расчетов показали хорошее совпадение с экспериментом. Проведена оценка глубины выхода флуоресцентного излучения для аналитических линий элементов в различных материалах.

Capability of thin films thickness determination with SPECTROSCAN MAKC-GV desktop spectrometer was considered. Tables of relations between intensity of X-ray fluorescence analytical element lines and the single-element film thickness (less than 10 microns) were obtained. The thickness of the films beyond 10 microns is offered to be estimated by the intensity of the wafer element. Tables of relations between the intensity of the wafer element (molybdenum) and film thickness were obtained. Additional excitation of the wafer element with the element of the coating (zinc coating of steel) was considered. The results of calculations are in good agreement with experimental results. Assessment of fluorescence efficiency with depth for some element lines in various materials was fulfilled.