Спектрометры тлеющего разряда — новое перспективное направление в приборостроении

Abstract

Рассмотрены принципы, методология, особенности и аппаратурное оформление метода оптической эмиссионной спектрометрии с тлеющим разрядом (GD-OES). Продемонстрированы аналитические и метрологические возможности метода, в том числе при проведении послойного анализа. Сформулированы достоинства метода, по сравнению с конкурирующими источниками возбуждения спектра Обозначены перспективы развития данного метода, основные технические трудности в области исследований непроводящих материалов и покрытий на них Проведена оценка некоторых метрологических характеристик спектрометра тлеющего разряда SA-2000 фирмы LECO. Приведены примеры использования метода для анализа различных покрытий.

The principles, methodology, specific features and apparatus support of the method of glow discharge optic emissive spectroscopy (GD-OES) were considered. Analytical and metrological possibilities of the method including layer-by-layer analysis were shown. The method advantages in comparison with competitive sources of spectrum generation were formulated. The development ways of the given method, the basic technical difficulties in the sphere of investigation of non-conducted materials and its coatings were touched. Some metrological features of LECO's SA-2000 glow discharge spectrometer were evaluated. The examples of the usage of the method for analysis of various coatings were given.