ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/45727| Название: | Скрайбирование и разделение полупроводниковых пластин с двухсторонним оптическим покрытием |
| Авторы: | Григорьев, С. Е. Мулинов, Д. А. Прокопьев, О. Г. Жуков, Ю. Н. |
| Научный руководитель: | Жуков, Ю. Н. |
| Дата публикации: | 2004 |
| Издатель: | Уральский государственный технический университет - УПИ |
| Библиографическое описание: | Скрайбирование и разделение полупроводниковых пластин с двухсторонним оптическим покрытием / С. Е. Григорьев [и др.] // Научные труды VI отчетной конференции молодых ученых ГОУ ВПО УГТУ-УПИ: сборник статей. В 2-х ч. — Екатеринбург: УГТУ-УПИ, 2004. — Ч. 1. — С. 409-409. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/45727 |
| Источники: | Научные труды VI отчетной конференции молодых ученых ГОУ ВПО УГТУ-УПИ. Ч. 1. — Екатеринбург, 2004 Вестник УГТУ-УПИ. Специальный выпуск, в 2-х ч. 2004. Ч. 1 |
| Располагается в коллекциях: | Вестник УрФУ. Серия экономика и управление |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| ntmu_2004_1_182.pdf | 161,06 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.