Использование многомерных градуировок для атомно-эмиссионного определения бора и фосфора в продуктах производства кремния

Abstract

В статье приведены примеры определения бора и фосфора в продуктах производства кремния методом прямого дугового атомно-эмиссионного анализа. Для обработки спектров применены многомерные градуировки. Показано, что такая обработка спектральной информации обеспечивает снижение нижней границы определений на 1-2 порядка содержаний за счёт минимизации влияния спектральных наложений и матричных эффектов на интенсивность спектральных линий определяемых элементов. Полученные результаты хорошо согласуются с данными методов ИСП-МС, спектрофотометрии, сорбционно-атомно-эмиссионного и инструментального нейтронно-активационного анализов, демонстрируя эффективность применения многомерного градуирования.

The article presents some examples of the determination of boron and phosphorous in products of silicon industry by the direct atomic-emission analysis with arc discharge. Multivariate calibrations were used for processing of spectra. It is shown that such processing of spectral information provides the reduction of detection limits due to minimizing of spectral and non-spectral effects on intensities of lines of determined elements. The gained results are well conformed to data of ICP-MS, spectrophotometric, sorption atomic-emission and instrumental neutron activation analytical methods, demonstrating the effectiveness of application of multivariate calibrations in the direct atomic-emission analysis with arc discharge.