Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10995/42204
Title: Способ, устройство для получения многослойных пленок и многослойная структура, полученная с их использованием
Patent Number: 2451769
Authors: Васьковский, В. О.
Савин, П. А.
Курляндская, Г. В.
Свалов, А. В.
Сорокин, А. Н.
Issue Date: 2012-05-27
Abstract: Изобретение относится к области ионно-плазменного напыления многослойных пленок. Согласно способу получения пленок осуществляют ионно-плазменное напыление материала мишени на подложку в вакууме при приложении магнитного поля. При этом предварительно устанавливают зависимость характеристик материала напыляемого слоя от величины давления распыляющего газа. Напыление осуществляют при величине давления, а также величине и/или ориентации прикладываемого магнитного поля, необходимых для получения заданных характеристик материала напыляемого слоя. Причем по крайней мере два слоя напыляют из одной мишени при разных давлениях распыляющего газа. Устройство для получения пленок содержит экранированную катод-мишень и подложкодержатель, расположенный в горизонтальном магнитном поле с возможностью изменения ориентации поля. Экран выполнен регулируемым по высоте с по крайней мере двумя отверстиями для распыляемого материала. При этом каждое отверстие имеет регулируемую по высоте вставку, а по вертикали отверстия разделены дополнительной изолированной перегородкой. Технический результат - получение многослойных пленок с различными свойствами слоев и расширение технологических возможностей.
URI: http://hdl.handle.net/10995/42204
https://elar.urfu.ru/handle/10995/42204
RSCI ID: 37764923
PURE ID: 6548253
Patent Type: Изобретение
Patent Owner: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"
Appears in Collections:Патенты и изобретения

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2451769.pdf814,73 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.