Способ разделения на кристаллы полупроводниковых пластин с двухсторонним тонкопленочным покрытием

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elar.urfu.ru/handle/10995/42118

Title:	Способ разделения на кристаллы полупроводниковых пластин с двухсторонним тонкопленочным покрытием
Patent Number:	2385218
Authors:	Жуков, Ю. Н.
Issue Date:	2010-03-27
Keywords:	PATENT ПАТЕНТ
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/42118
RSCI ID:	37696284
Patent Type:	Изобретение
Patent Owner:	Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский государственный технический университет-УПИ имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"
Appears in Collections:	Патенты и изобретения

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
2385218.pdf		213,69 kB	Adobe PDF	View/Open