Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10995/20824
Title: Компьютерное исследование компонентов микросистемной техники
Other Titles: Computer simulation of microsystem elements
Authors: Огородникова, О. М.
Панин, О. А.
Ogorodnikova, O. M.
Panin, O. V.
Issue Date: 2009
Publisher: Издательство «Новые технологии»
Citation: Огородникова О. М. Компьютерное исследование компонентов микросистемной техники / О. М. Огородникова, О. А. Панин // Нано- и микросистемная техника. — Москва, 2009. — №5. — С. 12-15.
Abstract: Компьютерному моделированию подвергнут термоэлектрический микропривод, управляющий положением микрозеркала в микро-опто-электро- механической системе (МОЭМС). Инструментом компьютерного исследования послужил программный комплекс ANSYS в междисциплинарной конфигурации. Верифицированы расчеты угла поворота микрозеркала в зависимости от напряжения, приложенного к пластинам актюатора. Расчетные результаты расходятся с экспериментальными значениями на 10%.
The thermoelectric microdrive setting the mirror in micro-opto-electromechanical system (MOEMS) is simulated with aid of ANSYS multiphysics tool. The calculations of rotation angle for mirror depending on voltage difference across the pads of thermal actuators are verified. The difference of calculated results and experimental data does not exceed 10%.
Keywords: КОМПЬЮТЕРНЫЙ ИНЖЕНИРИНГ
МОЭМС
МИКРО-ОПТО-ЭЛЕКТРО-МЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА
ANSYS
КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
ВЕРИФИКАЦИЯ
ТЕРМИЧЕСКИЙ АКЮАТОР
MICRO-OPTO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM
SIMULATION
VERIFICATION
MIRROR
THERMAL ACTUATOR
URI: http://hdl.handle.net/10995/20824
Appears in Collections:Публикации сотрудников

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
ogorodnikova_panin_2009.pdf282,88 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.