Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/134786
Название: | Программа для точного определения жёсткости кремниевого зонда СЗМ по его геометрии и первой резонансной частоте |
Номер патента: | 2023681420 |
Авторы: | Мельников, С. А. Кособоков, М. С. Аликин, Д. О. |
Дата публикации: | 2023-10-13 |
Аннотация: | Программа методом конечных элементов решает обратную физическую задачу поиска жёсткости при заданной частоте первой вертикальной резонансной колебательной моды кремниевого зонда атомно-силового микроскопа. Входные параметры: геометрические размеры кантилевера и иглы. В расчёте учтена анизотропия упругих свойств кремния и ориентация кристаллографических направлений в соответствии технологии производства зондов. При решении обратной задачи для сходимости экспериментальной частоты с теоретической варьируется толщина кантилевера. Программа может быть использована для определения жёсткости кантилеверов без контакта зонда с поверхностью. Выражаем благодарность за финансирование исследований со стороны Исследование выполнено при финансовой поддержке Минобрнауки РФ в рамках Программы развития УрФУ в соответствии с программой стратегического академического лидерства «Приоритет-2030». |
Ключевые слова: | ПРОГРАММА ДЛЯ ЭВМ |
URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/134786 |
Идентификатор РИНЦ: | 56000162 |
Идентификатор PURE: | 57028186 |
Вид РИД: | Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ |
Патентообладатель: | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина» |
Располагается в коллекциях: | Патенты и изобретения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
2023681420.pdf | 189,62 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.