Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/134786
Название: Программа для точного определения жёсткости кремниевого зонда СЗМ по его геометрии и первой резонансной частоте
Номер патента: 2023681420
Авторы: Мельников, С. А.
Кособоков, М. С.
Аликин, Д. О.
Дата публикации: 2023-10-13
Аннотация: Программа методом конечных элементов решает обратную физическую задачу поиска жёсткости при заданной частоте первой вертикальной резонансной колебательной моды кремниевого зонда атомно-силового микроскопа. Входные параметры: геометрические размеры кантилевера и иглы. В расчёте учтена анизотропия упругих свойств кремния и ориентация кристаллографических направлений в соответствии технологии производства зондов. При решении обратной задачи для сходимости экспериментальной частоты с теоретической варьируется толщина кантилевера. Программа может быть использована для определения жёсткости кантилеверов без контакта зонда с поверхностью. Выражаем благодарность за финансирование исследований со стороны Исследование выполнено при финансовой поддержке Минобрнауки РФ в рамках Программы развития УрФУ в соответствии с программой стратегического академического лидерства «Приоритет-2030».
Ключевые слова: ПРОГРАММА ДЛЯ ЭВМ
URI: http://elar.urfu.ru/handle/10995/134786
Идентификатор РИНЦ: 56000162
Идентификатор PURE: 57028186
Вид РИД: Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ
Патентообладатель: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина»
Располагается в коллекциях:Патенты и изобретения

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
2023681420.pdf189,62 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.