Программа для фрактального и мультифрактального анализа АСМ изображений поверхности тонких пленок

Abstract

Программа предназначена для определения характеристик поверхности тонких пленок методами фрактального анализа. Входные данные: двумерный массив высот поверхности (рельеф) тонкой пленки, измеренный методом атомно-силовой микроскопии. Для анализа массива данных используются: автокорреляционная функция, функция корреляции высота-высота и двумерный мультифрактальный анализ флуктуаций поверхности. Результаты расчета представляют собой: величину арифметической шероховатости, длину корреляции, фрактальную размерность и, параметры мультифрактального спектра. Программа может быть использована для определения количественных характеристик рельефа поверхности различных тонких пленок. Исследование выполнено при финансовой поддержке Минобрнауки РФ в рамках Программы развития УрФУ в соответствии с программой стратегического академического лидерства «Приоритет-2030».