Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях : Часть 1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом : учебное пособие

Abstract

Рассмотрены основные физические процессы, происходящие при взаимодействии ускоренных частиц с твердыми телами. Изложены основные физические принципы ионной имплантации, распыления твердых тел. Рассмотрены основы взаимодействия электронов с веществом, а также даются примеры применения электронных пучков для обработки материалов. Учебное пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлениям 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», а также для студентов и аспирантов, обучающихся по физическим специальностям, изучающих курсы «Плазменно-пучковые технологии», «Взаимодействие излучения с веществом», «Электрофизические методы обработки материалов», «Актуальные проблемы современной электроники больших мощностей».