Оптический сканирующий профилометр

Соколенко, Б. В.; Полетаев, Д. А.; Халилов, С.; Погребная, А. О.; Sokolenko, B. V.; Poletaev, D. A.; Khalilov, S.; Pogrebnaya, А. О.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/107753

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Соколенко, Б. В.	ru
dc.contributor.author	Полетаев, Д. А.	ru
dc.contributor.author	Халилов, С.	ru
dc.contributor.author	Погребная, А. О.	ru
dc.contributor.author	Sokolenko, B. V.	en
dc.contributor.author	Poletaev, D. A.	en
dc.contributor.author	Khalilov, S.	en
dc.contributor.author	Pogrebnaya, А. О.	en
dc.date.accessioned	2022-01-26T10:45:32Z	-
dc.date.available	2022-01-26T10:45:32Z	-
dc.date.issued	2017	-
dc.identifier.citation	Оптический сканирующий профилометр / Б. В. Соколенко, Д. А. Полетаев, С. Халилов, А. О. Погребная // Физика. Технологии. Инновации (Секция 1) : тезисы докладов IV Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 15–19 мая 2017 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2017. — C. 53-55.	ru
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/107753	-
dc.description.abstract	In this report we apply a new laser scanning profilometer and review principles and applications of using an optical vortex in high spatial resolution metrology at nanoscale three-dimensional regime. The phase-shifting technique with coherent Laguerre-Gaussian beams demonstrates ability to examine profile of transparent and reflecting samples with high accuracy and resolution down to 1 nm.	en
dc.description.sponsorship	Данная работа выполнена в рамках ГСУ-проекта «АММУР – академическая мобильность молодых ученых России» Программы развития ФГАОУ ВО «КФУ им. В.И. Вернадского».	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	УрФУ	ru
dc.relation.ispartof	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2017). — Екатеринбург, 2017	ru
dc.title	Оптический сканирующий профилометр	ru
dc.title.alternative	OPTICAL SCANNING PROFILOMETER	en
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferenceObject	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.conference.name	IV Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации»	ru
dc.conference.date	15.05.2017-19.05.2017	-
local.description.firstpage	53
local.description.lastpage	55
Располагается в коллекциях:	Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
fti_2017_029.pdf		699,4 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.