Оптимизация функциональных свойств преобразователей давления в рамках технологии "кремний на сапфире"

Кудюков, Е. В.; Кулеш, Н. А.; Балымов, К. Г.; Белоусов, А. А.; Васьковский, В. О.; Kudyukov, E. V.; Kulesh, N. A.; Balymov, K. G.; Belousov, A. A.; Vas'kovskiy, V. O.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/107597

Title:	Оптимизация функциональных свойств преобразователей давления в рамках технологии "кремний на сапфире"
Other Titles:	FUNCTIONAL PROPERTIES OPTIMIZATION OF PRESSURE TRANSDUCERS BASED ON TECHNOLOGY SILICON-ON-SAPPHIRE
Authors:	Кудюков, Е. В. Кулеш, Н. А. Балымов, К. Г. Белоусов, А. А. Васьковский, В. О. Kudyukov, E. V. Kulesh, N. A. Balymov, K. G. Belousov, A. A. Vas'kovskiy, V. O.
Issue Date:	2017
Publisher:	УрФУ
Citation:	Оптимизация функциональных свойств преобразователей давления в рамках технологии "кремний на сапфире" / Е. В. Кудюков, Н. А. Кулеш, К. Г. Балымов, А. А. Белоусов, В. О. Васьковский // Физика. Технологии. Инновации (Секция 1) : тезисы докладов IV Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 15–19 мая 2017 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2017. — C. 238-239.
Abstract:	In presented work finite elements modeling of silicon-based pressure transducer was performed. Results of modeling were compared with experimental one.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/107597
Conference name:	IV Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации»
Conference date:	15.05.2017-19.05.2017
metadata.dc.description.sponsorship:	Работа выполнена при финансовой поддержке Минобрнауки России, проект RFMEFI57815X0125.
Origin:	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2017). — Екатеринбург, 2017
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
fti_2017_149.pdf		688,88 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar