ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/107597| Название: | Оптимизация функциональных свойств преобразователей давления в рамках технологии "кремний на сапфире" |
| Другие названия: | FUNCTIONAL PROPERTIES OPTIMIZATION OF PRESSURE TRANSDUCERS BASED ON TECHNOLOGY SILICON-ON-SAPPHIRE |
| Авторы: | Кудюков, Е. В. Кулеш, Н. А. Балымов, К. Г. Белоусов, А. А. Васьковский, В. О. Kudyukov, E. V. Kulesh, N. A. Balymov, K. G. Belousov, A. A. Vas'kovskiy, V. O. |
| Дата публикации: | 2017 |
| Издатель: | УрФУ |
| Библиографическое описание: | Оптимизация функциональных свойств преобразователей давления в рамках технологии "кремний на сапфире" / Е. В. Кудюков, Н. А. Кулеш, К. Г. Балымов, А. А. Белоусов, В. О. Васьковский // Физика. Технологии. Инновации (Секция 1) : тезисы докладов IV Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 15–19 мая 2017 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2017. — C. 238-239. |
| Аннотация: | In presented work finite elements modeling of silicon-based pressure transducer was performed. Results of modeling were compared with experimental one. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/107597 |
| Конференция/семинар: | IV Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации» |
| Дата конференции/семинара: | 15.05.2017-19.05.2017 |
| Сведения о поддержке: | Работа выполнена при финансовой поддержке Минобрнауки России, проект RFMEFI57815X0125. |
| Источники: | Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2017). — Екатеринбург, 2017 |
| Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| fti_2017_149.pdf | 688,88 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.