ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/107261| Название: | ПОЛУЧЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК GaN/Al2O3 МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО НАПЫЛЕНИЯ |
| Другие названия: | PREPARATION OF THIN FILMS GaN / Al2O3 BY PULSED LASER DEPOSITION |
| Авторы: | Devitsky, O. V. Nikulin, D. A. Девицкий, О. В. Никулин, Д. А. |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издатель: | УрФУ |
| Библиографическое описание: | Девицкий О. В. ПОЛУЧЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК GaN/Al2O3 МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО НАПЫЛЕНИЯ / О. В. Девицкий, Д. А. Никулин // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VII Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию Уральского федерального университета (Екатеринбург, 18–22 мая 2020 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2020. — C. 165-166. |
| Аннотация: | Thin films GaN/Al2O3 were obtained by pulsed laser sputtering from a liquid gallium target in an atmosphere of argon and nitrogen. A certain dependence on the laser pulse energy on the phonon mode value E2(high) GaN and the arithmetic average roughness of the films. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/107261 |
| Конференция/семинар: | VII Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 100-летию Уральского федерального университета |
| Дата конференции/семинара: | 18.05.2020-22.05.2020 |
| Сведения о поддержке: | Публикация подготовлена в рамках государственных заданий Федерального иссле-довательского центра Южного научного центра РАН на 2020 г. (номер госрегистра-ции АААА-А19-119040390081-2). |
| Источники: | Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2020) |
| Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| fti_2020_068.pdf | 282,37 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.