Контроль формы наконечника наноиндентора с помощью пьезорезонансного зонда с тестовой решеткой

Русаков, A. А.; Гладких, Е. В.; Кравчук, К. С.; Казиева, Т. В.; Норкин, С. В.; Решетов, В. Н.; Rusakov, A. A.; Gladkikh, E. V.; Kravchuk, K. S.; Kazyeva, Т. V.; Norkin, S. V.; Reshetov, V. N.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elar.urfu.ru/handle/10995/104050

Title:	Контроль формы наконечника наноиндентора с помощью пьезорезонансного зонда с тестовой решеткой
Other Titles:	Shape verification of the nanoindenter's tip using a piezoresonance probe with a test grating
Authors:	Русаков, A. А. Гладких, Е. В. Кравчук, К. С. Казиева, Т. В. Норкин, С. В. Решетов, В. Н. Rusakov, A. A. Gladkikh, E. V. Kravchuk, K. S. Kazyeva, Т. V. Norkin, S. V. Reshetov, V. N.
Issue Date:	2017
Publisher:	Ural Federal University
Citation:	Контроль формы наконечника наноиндентора с помощью пьезорезонансного зонда с тестовой решеткой / A. А. Русаков, Е. В. Гладких, К. С. Кравчук и др. // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 181 p.
Abstract:	Контроль формы алмазного пирамидального наконечника можно проводить с помощью пьезорезонансного зонда с тестовой решѐткой. Рассмотрены факторы, влияющие на ошибку определения истиной формы острия наконечника и возможные способы ей минимизации. Shape verification of the diamond pyramidal tip can be carried out using a piezoresonance pro e with a test grating. Factors influencing the tip’s true shape determination error and possible ways of its reducing are considered.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/104050
Conference name:	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research"
Conference date:	27.08.2017-30.08.2017
ISBN:	978-5-9500624-0-7
Sponsorship:	Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ № 15-08-06298.
Origin:	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017
Appears in Collections:	Scanning Probe Microscopy

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-9500624-0-7_2017_105.pdf		417,04 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record