ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/103983| Название: | Изотопический эффект при высокодозной имплантации ионов бора в поверхность кремния |
| Авторы: | Фролова, В. П. Бугаев, А. С. Окс, Е. М. Савкин, К. П. Юшков, Г. Ю. |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издатель: | ООО "Альтаир" |
| Библиографическое описание: | Изотопический эффект при высокодозной имплантации ионов бора в поверхность кремния / В. П. Фролова, А. С. Бугаев, Е. М. Окс, К. П. Савкин, Г. Ю. Юшков // Двадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных : материалы конференции. Информационный бюллетень (Уфа, 27 марта - 03 апреля 2020 г.). — Екатеринбург – Ростов-на-Дону – Уфа: ООО "Альтаир", 2020. — С. 154-155. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/103983 |
| Конференция/семинар: | Двадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных. ВНКСФ – 26 |
| Дата конференции/семинара: | 27.03.2020-03.04.2020 |
| ISBN: | 978-5-91951-593-7 |
| Сведения о поддержке: | Работа была поддержана грантом Российского научного фонда № 16-19-10034. |
| Карточка проекта РНФ: | 16-19-10034 |
| Источники: | Двадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных. ВНКСФ – 26. — Уфа, 2020 |
| Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 978-5-91951-593-7_2020_099.pdf | 494,34 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.