Высокотемпературный отжиг тонких пленок a-SiOx различной стехиометрии

Лунев, Н. А.; Меркулова, И. Е.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/103819

Название:	Высокотемпературный отжиг тонких пленок a-SiOx различной стехиометрии
Авторы:	Лунев, Н. А. Меркулова, И. Е.
Научный руководитель:	Замчий, А. О.
Дата публикации:	2020
Издатель:	ООО "Альтаир"
Библиографическое описание:	Лунев Н. А. Высокотемпературный отжиг тонких пленок a-SiOx различной стехиометрии / Н. А. Лунев, И. Е. Меркулова // Двадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных : материалы конференции. Информационный бюллетень (Уфа, 27 марта - 03 апреля 2020 г.). — Екатеринбург – Ростов-на-Дону – Уфа: ООО "Альтаир", 2020. — С. 337-338.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/103819
Конференция/семинар:	Двадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных. ВНКСФ – 26
Дата конференции/семинара:	27.03.2020-03.04.2020
ISBN:	978-5-91951-593-7
Сведения о поддержке:	Исследование выполнено при финансовой поддержке Российского научного фонда (проект № 19-79-10143).
Карточка проекта РНФ:	19-79-10143
Источники:	Двадцать шестая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых учёных. ВНКСФ – 26. — Уфа, 2020
Располагается в коллекциях:	Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
978-5-91951-593-7_2020_238.pdf		562,16 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать полное описание ресурса Статистика

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.