Способ получения пленок на основе сложных оксидов

Abstract

FIELD: integral and magnetooptics, laser and SHF technologies. SUBSTANCE: working solution containing following components, per cent by mass: salts of metal components in terms of metals 0.1-5.0; polyvinyl alcohol 5.0-20.0; polyvinylpyrrolidon 1.0- 20.0; water being the balance. Before application of solution substrate is treated in 5-30% aqueous solution of ammonia at 60-100 C for the course of 10- 60 min. Then it is rinsed for 5-15 min in water and is dried to complete removal of moisture at 20-40 C. Working solution is applied to treated surface layer by layer with intermediate drying of each layer at room temperature and with heating of at least two layers till organic component is removed. Final firing is conducted at 600-960 C. Injection of polyvinylpyrrolidon increases adhesion of films to substrate and suppresses crystallization of salts thanks to complex formation. Treatment of substrates in ammonia gives additional adhesion of films owing to adsorption of hydrooxile groups on surface of substrate. EFFECT: facilitated manufacture. 1 tbl.

Использование: в каталитической, сверхпроводящей, лазерной, СВЧ-технике, магнитооптике, интегральной оптике. Сущность изобретения: готовят рабочий растовор, содержащий следующие компоненты, мас. соли металлических компонентов в пересчете на металлы 0,1 5; поливиниловый спирт 5 20; поливинилпирролидон 1 20; вода остальное. Перед нанесением рабочего раствора обрабатывают подложку в 5 30%-ном водном растворе аммиака при 60 100°С в течение 10 60 мин. Затем ее промывают 5 - 15 мин в воде и сушат до полного удаления влаги при 20 40°С. Рабочий раствор наносят на обработанную подложку послойно с промежуточной сушкой каждого слоя при комнатной температуре и нагревом не менее двух слоев до удаления органической компоненты. Окончательный отжиг проводят при 600 960°С. Введение поливинилпирролидона повышает адгезию пленок к подложке и подавляет кристаллизацию солей за счет комплексообразования, что повышает химическую однородность пленок. Обработка подложек в аммиаке дает дополнительное увеличение адгезии пленок за счет адсорбции на поверхности подложек гидроксильных групп. 1 табл.