Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/68998
Название: Способ определения толщины плоского слоя
Номер патента: 2620986
Авторы: Федосов, Е. А.
Гольдштейн, С. Л.
Диомидов, И. А.
Дата публикации: 2017-05-30
URI: http://elar.urfu.ru/handle/10995/68998
Идентификатор РИНЦ: 38265122
Идентификатор PURE: 10283179
Патентообладатель: федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"
Располагается в коллекциях:Патенты и изобретения

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
2620986.pdf293,46 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.