Тлеющий разряд по Гримму. Физические основы, исследование и применение в атомно-эмиссионном спектральном анализе

Abstract

Рассмотрены физические основы тлеющего разряда и особенности разряда с плоским катодом, широко применяемого сейчас в атомно-эмиссионном спектральном анализе (тлеющий разряд по Гримму). Основное внимание уделено конструкции ячейки возбуждения спектров, процессам катодного распыления пробы, влиянию основных операционных параметров и атомосферы разряда на результаты анализов, подготовке проб и проведению количественного анализа состава поверхности, валового анализа и послойного анализа. Обсуждены особенности и возможности высокочастотного и импульсного микросекундного тлеющих разрядов. Рассмотрены также вопросы исследования физических характеристик разрядов и моделирования физических процессов в них.

Investigated the physical foundations of the glow discharge and features of the flat cathode discharge, which is currently widely used in Atomic Emission Spectral analysis (Grimm glow discharge). We mostly concentrate on the design of the excitation cell, cathodic dispersion of the sample processes, influence of the basic operational parameters and discharge atmosphere on the analysis results, preparation of the samples and conducting the quantitative analysis of the surface composition, bulk analysis and level-by-level analysis. The features and possibilities of high frequency and microsecond-pulse discharges are also discussed. The topics of physical characteristics of the discharges and modeling of physical processes in them are investigated.