Компьютерное исследование компонентов микросистемной техники

Abstract

Компьютерному моделированию подвергнут термоэлектрический микропривод, управляющий положением микрозеркала в микро-опто-электро- механической системе (МОЭМС). Инструментом компьютерного исследования послужил программный комплекс ANSYS в междисциплинарной конфигурации. Верифицированы расчеты угла поворота микрозеркала в зависимости от напряжения, приложенного к пластинам актюатора. Расчетные результаты расходятся с экспериментальными значениями на 10%.

The thermoelectric microdrive setting the mirror in micro-opto-electromechanical system (MOEMS) is simulated with aid of ANSYS multiphysics tool. The calculations of rotation angle for mirror depending on voltage difference across the pads of thermal actuators are verified. The difference of calculated results and experimental data does not exceed 10%.