Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://hdl.handle.net/10995/20824
Название: Компьютерное исследование компонентов микросистемной техники
Другие названия: Computer simulation of microsystem elements
Авторы: Огородникова, О. М.
Панин, О. А.
Ogorodnikova, O. M.
Panin, O. V.
Дата публикации: 2009
Издатель: Издательство «Новые технологии»
Библиографическое описание: Огородникова О. М. Компьютерное исследование компонентов микросистемной техники / О. М. Огородникова, О. А. Панин // Нано- и микросистемная техника. — Москва, 2009. — №5. — С. 12-15.
Аннотация: Компьютерному моделированию подвергнут термоэлектрический микропривод, управляющий положением микрозеркала в микро-опто-электро- механической системе (МОЭМС). Инструментом компьютерного исследования послужил программный комплекс ANSYS в междисциплинарной конфигурации. Верифицированы расчеты угла поворота микрозеркала в зависимости от напряжения, приложенного к пластинам актюатора. Расчетные результаты расходятся с экспериментальными значениями на 10%.
The thermoelectric microdrive setting the mirror in micro-opto-electromechanical system (MOEMS) is simulated with aid of ANSYS multiphysics tool. The calculations of rotation angle for mirror depending on voltage difference across the pads of thermal actuators are verified. The difference of calculated results and experimental data does not exceed 10%.
Ключевые слова: КОМПЬЮТЕРНЫЙ ИНЖЕНИРИНГ
МОЭМС
МИКРО-ОПТО-ЭЛЕКТРО-МЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА
ANSYS
КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
ВЕРИФИКАЦИЯ
ТЕРМИЧЕСКИЙ АКЮАТОР
MICRO-OPTO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM
SIMULATION
VERIFICATION
MIRROR
THERMAL ACTUATOR
URI: http://hdl.handle.net/10995/20824
Располагается в коллекциях:Публикации сотрудников

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
ogorodnikova_panin_2009.pdf282,88 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.