Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10995/1552
Title: Учебно-методический комплекс дисциплины "Фотолитография"
Authors: Батурин, И. С.
Issue Date: 2008
Publisher: б. и.
Citation: Батурин, Иван Сергеевич. Учебно-методический комплекс дисциплины "Фотолитография" [Электронный ресурс] / И. С. Батурин ; Федер. агентство по образованию, Урал. гос. ун-т им. А. М. Горького, ИОНЦ "Нанотехнологии и перспективные материалы" [и др.]. — Электрон. дан. (67,7 Мб). — Екатеринбург : [б. и.], 2008.
Abstract: Целью специальной дисциплины "Фотолитография" является ознакомление студентов с методиками формирования микро- и наноструктур на поверхности различных материалов с помощью методов микро- и нанолитографии. Задачи дисциплины: - изучение основных подходов и методов микро- и нанолитографии, - изучение физических и химических процессов, протекающих в пленках резиста при их нанесении, термической обработке, экспонировании и проявлении, - изучение процессов формирования изображения в слое резиста при его экспонировании в контактной и проекционной фотолитографии, - обзор различных методов нанолитографии, - изучение основ технологий переноса рисунка со слоя фоторезиста на поверхность пластины с помощью нанесения, травления или модификации поверхности, - обзор основных тенденций и перспектив развития микроэлектронной промышленности и технологий микро- и нанолитографии в частности, - ознакомление с технологией чистых помещений, чистых технологических сред и чистых материалов. УМКД включает программу дисциплины, вопросы для самоконтроля, методические указания, экзаменационные материалы, презентации лекций. Предназначен для студентов 4 курса.
Keywords: НАНОТЕХНОЛОГИИ
НАНОМАТЕРИАЛЫ
УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОСОБИЯ ДЛЯ ВУЗОВ
ФОТОЛИТОГРАФИЯ
МИКРОЛИТОГРАФИЯ
НАНОЛИТОГРАФИЯ
ТЕХНОЛОГИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
URI: http://hdl.handle.net/10995/1552
http://elar.urfu.ru/handle/10995/1552
Appears in Collections:Нанотехнологии и перспективные материалы

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
1335040_other.zip35,7 MBUnknownView/Open
1335040_tests.pdf122,25 kBAdobe PDFView/Open
1335040_presentation.ppt29,81 MBMicrosoft PowerpointView/Open
1335040_exam.pdf117,37 kBAdobe PDFView/Open
1335040_methodinst.pdf249,08 kBAdobe PDFView/Open
1335040_program.pdf202,53 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.